凈化工程的分類介紹

所謂的凈化項目是控制產品（如硅片）接觸的大氣的清潔度和溫度和濕度，使產品可以在良好的環境中生產和制造。無塵室裝配式潔凈廠房的全部維修構件在工廠內按統一模數及系列加工完成，適于批量生產，質量穩定，供貨迅速。無塵車間叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。潔凈車間機動靈活，即適合在新建廠房配套安裝，也適宜老廠房的凈化技術改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合，拆卸方便。該空間的設計和施工過程可稱為凈化工程。凈化工作可分為湍流和層流。

1、亂流式

空氣通過潔凈室的風管和空氣過濾器（HEPA）通過空調箱進入潔凈室，并通過潔凈室兩側的隔板或高架地板返回。由于氣流的非線性運動，使其處于不規則的湍流或渦流狀態。這種類型適用于1000-100000級潔凈室。優點：結構簡單，系統建設成本低，潔凈室易于擴建，無塵工作臺可用于某些特殊使用場所，提高潔凈室等級。缺點：湍流產生的粉塵顆粒漂浮在室內空間，不易排放，易污染工藝產品。此外，如果系統停止運行并重新啟動，則需要很長時間才能達到所需的清潔度。

2、層流式

層流氣流進入一條均勻的直線，空氣通過100%覆蓋的過濾器進入房間，空氣由高架地板或兩側隔板返回。這種類型適合在較高的環境中使用潔凈室等級。一般情況下，潔凈室等級為1~100級。它可分為兩類：

（1）水平層流型：水平空氣從一個方向從過濾器吹出，相對壁的回風系統返回風，灰塵隨風向排出到外面，下游污染情況普遍嚴重。層流罩

優點：結構簡單，運行后短時間內穩定。缺點：施工成本高于湍流式，室內空間不易擴大。

(2)垂直層流：房間的天花板完全覆蓋有ULPA過濾器，空氣從頂部吹向底部，可以獲得更高的清潔度。在不影響其他工作區域的情況下，由工藝或工作人員產生的粉塵可以快速地排放到室外。

優點：易于管理，在短時間內穩定運行，不易受運行狀態或操作人員的影響。湍流的缺點：施工成本高，空間靈活使用困難，吊頂吊架占據相當大的空間，過濾器的維護和更換比較麻煩。混合型：復合型結合湍流和層流，提供部分超潔凈空氣。